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集成電路制造工藝ppt下載

素材編號:
354011
素材軟件:
PowerPoint
素材格式:
.ppt
素材上傳:
yangyiner
上傳時間:
2019-05-28
素材大小:
3.57 MB
素材類別:
其他PPT
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集成電路制造工藝ppt

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這是集成電路制造工藝ppt,包括了教材與參考書、考核,緒論,引言,集成電路的歷史,何為集成電路,微電子工藝特點與基本工藝流程等內容,歡迎點擊下載。

 集成電路制造技術    ——原理與工藝
教材與參考書、考核
教材:王蔚 《微電子制造技術----原理與工藝》(修訂版)電子工業出版社   2013
參考書:關旭東 《硅集成電路工藝基礎》北京大學出版  2003
清華大學《集成電路工藝》多媒體教學課件  2001
Stephen A. C.《微電子制造科學原理與工程技術》電子工業出版社,2003
考核方式:考勤20+作業10+考試(閉卷)70
1. 引言
2、集成電路的歷史
3. 何為集成電路
4. 微電子工藝特點與基本工藝流程
為什么要學習本課程?
半導體產業結構
產業現狀-全球
技術現狀-全球
 1833年,英國科學家電子學之父法拉第最先發現硫化銀的電阻隨著溫度的變化情況不同于一般金屬,一般情況下,金屬的電阻隨溫度升高而增加,但巴拉迪發現硫化銀材料的電阻是隨著溫度的上升而降低。這是半導體現象的首次發現。
 1874年,電報機、電話和無線電相繼發明等早期電子儀器亦造就了一項新興的工業──電子業的誕生。
微電子工業生產過程圖
超凈 環境、操作者、工藝三方面的超凈,如超凈室,ULSI在100級超凈室制作,超凈臺達10級。
超純 指所用材料方面,如襯底材料、功能性電子材料、水、氣等;
     Si、Ge單晶純度達11個9。
高技術含量 設備先進,技術先進。
高精度 光刻圖形的最小線條尺寸在深亞微米量級,制備的介質薄膜厚度也在納米量級,而精度更在上述尺度之上。
大批量,低成本  圖形轉移技術使之得以實現。
超凈環境(超凈間)
超純材料
批量復制和廣泛的用途
IC產業流程圖
IC制造流程
IC設計
IC制造
IC封測
MOSFET的工藝流程簡介
(1)硅片清洗和打標記
(2)氧化硅生長(保護硅片和掩膜層)
(3)光刻
(5)柵氧化
淀積多晶硅,用多晶硅柵極版圖刻蝕多晶硅
以多晶硅柵極圖形為掩膜板,刻蝕氧化膜
完整的簡單MOS晶體管結構
 

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